超纯水是在半导体制造工艺中广泛使用的一种特殊水源。在半导体制造过程中，超纯水的质量对于保证产品质量和工艺稳定性至关重要。超纯水的质量参数之一，pH值，直接影响了超纯水的电离度以及其在工艺过程中的各种化学反应。

超纯水pH值对半导体制造工艺中的晶圆洗净过程、化学腐蚀过程以及电离度等方面有着重要影响。合理控制超纯水pH值，可以提高工艺的可控性、产品的一致性和工艺的稳定性，从而保证半导体产品的质量和性能。

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